分段式快速吸气,改善传统吸气方式,节少大量吸气时间,整面吸气均匀;曝光台面均精密测试,曝光量均匀;吸气曝光,放气动作流程全自动完成;曝光动作可采取手动式,依操作人员需要而自行调整;
特殊规格或特殊光源可依需要而定做.