设备真空的基本知识
真空的基本概念：
*在给定的空间内，气体压强低于1个大气压的气体状态，都称之为真空。人类接触的真空分为两种：一种是宇宙空间所存在的真空称为“自然真空”；另一种是人们用真空泵抽取容器中的气体所获得的真空称为“人为真空”，我们的环境箱中的真空箱和低气压箱都属于人为真空的制造例子！
*完全没有气体的空间状态称为“绝对真空”，就目前而言，使用最先进的真空泵也不可能达到“绝对真空”，而实际上我们所说的真空都是“相对真空”
2：真空的计量单位：
*在真空技术中，常用“真空度”这个习惯用语和“压强”这个物理量表示某个空间的真空程度，但应该严格区别它们的物理意义，压强越低意味着真空度越高，反之，压强高的空间则真空度低。
*下表给出了目前真空技术中常用的压强单位及它们的换算关系：
项目 | 帕（Pa） | 托（Torr） | 毫巴（mbar） | 标准大气压（atm） |
1 Pa 1 Torr 1 mbar 1 atm | 1 133.3 100 1.013x105 | 7.5x10-3 1 0.75 760 | 1x10-2 1.333 1 1.013x103 | 9.87x10-6 1.316x10-3 9.87x10-4 1 |
3：真空区域的划分：
*我们常常根据各个压强范围内不同的物理特点，把真空划分为以下几个区域：
粗真空： 1x105~~1x102Pa
低真空： 1x102~~1x10-1Pa
高真空： 1x10-1~~1x10-6Pa
超高真空： ＜ 10-6 Pa
4：真空的获得：
*真空的获得就是平常我们所说的“抽真空”，就是利用真空泵将容器中的
气体抽出，使空间内的压强低于1个大气压，就是达到真空状态。
*不同类型的真空泵的抽真空能力是不同的，下面是几种常用的真空泵的工
作压强范围：
旋片机械泵： 104~~10-3Pa
吸附泵： 104~~10-2Pa
扩散泵： 1~~10-6Pa
钛升华泵： 10-2~~10-7Pa
复合分子泵： 10-2~~10-9Pa
溅射离子泵： 10-3~~10-10Pa
低温泵： 10-4~~10-10Pa